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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：多弧離子鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號：TN-MIOP500S-2TA
  • 產(chǎn)品廠商：泰諾
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
多弧離子鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。本多弧離子鍍膜儀配有兩個多弧靶，和行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率。
詳情介紹：

多弧離子鍍膜儀 TN-MIOP500S-2TA本設(shè)備為多弧離子鍍膜設(shè)備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來，不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛等優(yōu)點。十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜

本設(shè)備配有兩個多弧靶，分置于腔體兩側(cè)。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率，改善成效果;該鍍膜儀還采用一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。

名稱
多弧離子鍍膜儀
型號
TN-MIOP500S-2TA
特點
  • 離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來，不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。
  • 十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
  • 一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離
技術(shù)參數(shù)
  • 樣品臺 行星式樣品臺，外徑305mm，四周六工位，工件可懸掛于各工位的支撐棒上，外周轉(zhuǎn)速1~20rpm可調(diào)
  • 多弧離子靶：φ84mm X 2 
  • 真空腔體： 304不銹鋼 ，φ300mm X 400mm， 觀察窗口前置φ100mm含遮光片，前開門式
  • 膜厚控制 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀
  • 真空系統(tǒng)
  1.    前級泵 雙極旋片泵 抽氣接口 KF16； 次級泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160
  2.    真空測量： 電阻+電離復(fù)合真空規(guī)
  3.    排氣速率： 機(jī)械泵1.1L/s， 分子泵 600L/s， 旋片泵：1.1L/S 
  4.    極限真空： 1.0E-5Pa
  5.    供電電源： AC 220V 50/60Hz
  • 控制系統(tǒng) 自動控制：觸控屏+操作面板
規(guī)格
電壓 AC380V,50Hz ；尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm；功率 5kW 整機(jī)重量 350kg